石英腔体内金涂层的具体制备方法

石英腔体内金涂层的制备方法主要包括熔融金属冷凝涂覆法和悬浮液等离子喷涂技术。

熔融金属冷凝涂覆法

• 边拉丝边涂覆：通过与光纤拉丝塔耦合，实现金属涂层的在线制备，涂层厚度可控。1

悬浮液等离子喷涂技术

• 单一立方相结构：制备Y2O3耐腐蚀涂层，有效解决刻蚀工艺腔室内表面的防蚀问题，尽管高纯纳米Y2O3粉体的制作成本较高。2

石英坩埚内表面涂层制备

• 内涂层与外涂层：包括涂覆于石英坩埚内表面基体的内涂层及涂覆于内涂层上的外涂层。34
• 制备系统：涉及熔制装置，包括盖体组件和炉体组件，形成密封腔体，可能用于涂层制备。6
• 涂层制备步骤：在喷涂液中加入烧结助剂，混合后喷涂于坩埚内表面形成涂层，涂层干燥后使用。7
• 氢氧化钡溶液喷涂：配置特定比例的氢氧化钡溶液，均匀喷涂于加热至200℃以上的石英坩埚内表面。8

石英晶体基材上的金涂层

• 附着力重要性：金涂层的内在质量和涂层/基底系统的界面完整性对石英晶体微天平（QCM）的测量精度至关重要。910