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1个月前
石英玻璃表面微孔结构怎么产生
回答简洁
更专业一些
- 飞秒激光加工是产生石英玻璃表面微孔结构的主要方法。
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飞秒激光加工
- 参数影响：飞秒激光的脉冲能量和打孔速度对微孔的深径比和形貌有显著影响。1
- 微观过程：有限元方法模拟显示，飞秒激光作用下，石英玻璃中导带电子的产生、激光能量的沉积、导带电子和能量扩散等微观过程对微孔形成至关重要。5
- 工艺优化：通过调整激光工艺参数，如激光功率、刻蚀速度、显微物镜聚焦等，可以优化微孔的质量和精度。6
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热处理和退火
- 结构改善：热处理和退火可以改善石英玻璃的结构缺陷，使微流通道内壁更加光滑。9
- 温度敏感性：石英玻璃对温度非常敏感，高温处理可能导致析晶现象，影响微孔质量。
- 表面杂质影响：表面杂质如水分能促进石英玻璃表面析晶，对微孔结构产生不利影响。9