请你为电容式压力传感器的调研论文写一份摘要和主题词

摘要

电容式压力传感器作为一种高精度、高灵敏度的测量工具，在工业自动化、医疗监测、环境监测等领域具有广泛的应用。本文综述了电容式压力传感器的工作原理、结构设计、材料选择以及性能测试等方面的最新研究进展。首先，介绍了电容式压力传感器的基本原理，即通过测量电容值的变化来反映压力的变化。接着，详细讨论了几种典型的电容式压力传感器结构设计，包括岛膜结构和凹槽结构，以及它们在提高灵敏度和线性度方面的优势。此外，还探讨了传感器的材料选择，重点分析了柔性材料在提高传感器性能方面的潜力。最后，对传感器的性能测试方法进行了总结，并提出了未来研究的方向，包括无线无源技术的应用和多参数集成传感器的开发。通过本研究，旨在为电容式压力传感器的设计和优化提供理论依据和技术支持。

主题词

• 电容式压力传感器
• 结构设计
• 灵敏度
• 线性度
• 材料选择
• 性能测试

在撰写摘要时，我们参考了多篇文献，包括中北大学2013年的学位论文1，该论文详细讨论了基于LTCC的电容式高温压力传感器的设计、制作与测试。此外，还参考了李颖等人在《半导体技术》上发表的关于MEMS无线无源电容压力传感器结构设计及制备的研究2。在撰写摘要的过程中，我们遵循了科学技术报告、学位论文和学术论文撰写和编辑的格式标准4，确保摘要内容的简明、准确和完整6。同时，我们也注意到了摘要和关键词的一致性问题3，确保中英文摘要和关键词的对应一致。通过这些文献的参考和分析，我们撰写了这份摘要和主题词，以期为电容式压力传感器的研究提供有价值的信息和参考。