7x24运转的晶圆生产设备关键数据的保存现状

7x24运转的晶圆生产设备在关键数据的保存方面，主要依赖于先进的信息技术和自动化系统来确保数据的准确性、完整性和可追溯性。以下是一些关键点：

1. **计算机控制设备和制造执行系统（MES）**的使用，这些系统可以有效地管理生产流程，确保关键数据的实时监控和记录。8
2. **数据采集系统（DCS）和统计过程控制（SPC）**工具的引入，这些工具使得制造过程的监控变得更加精确，关键数据可以被实时收集和分析，以便于及时发现和解决问题。8
3. 晶圆制造设备，如光刻机、刻蚀机和薄膜沉积设备，这些设备在晶圆制造环节中占据重要比例，它们的关键数据保存对于整个生产过程至关重要。10
4. 随着技术的发展，晶圆生产设备的数据保存和管理越来越倾向于采用数字化和智能化的方式，以提高生产效率和产品质量。

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