H车间质量监督部门负贵测量芯片镀膜厚度，其生产规格是500±50μ(微米)。测厚仪在05年2月10日曾由上级主管部门进行过校准。为了监测此测厚系统的性能，从3月1日开始，每天早晨正式工作前，先对一个厚度为500u的标准片连续测量5次，坚持检测30天，记录测量的偏差值，共得到150个数据。从数据上看，这30天的状况是受控的，所有的点都落入控制限范围内。计算后得知，这150个偏差值数据的平均值X=0.94u,标准差为S=1.42ц,经单样本T检验，未发现偏差值之均值与0有显著差异。总之。整个测量系统的准确性(ACCurACy)、精确性(PreCision)及稳定性(StABility)都是合格的。这里“此测量系统的准确性(ACCuACV)是合格的”指的是 [单选题]) A：这30天所有的数据点都落入控制限范围内 B：X=0.94u这个结果与公差限范围+50u相比，小于10%，满足GR&R要求。 C：eS=1.42μ这个结果与公差限范围+50m相比，小于10%，满足P/T要求 D：S=1.42u这个结果与公差限范围+50u相比，小于10%，满足P/T要求

在H车间的质量监督部门负责测量芯片镀膜厚度的情况下，测量系统的准确性（Accuracy）、精确性（Precision）及稳定性（Stability）都是合格的。这里“此测量系统的准确性（Accuracy）是合格的”指的是B选项：X=0.94μ这个结果与公差限范围±50μ相比，小于10%，满足GR&R要求。123

📊 测量系统的准确性分析

• 准确性定义与评估：测量系统的准确性是指测量结果与真实值之间的接近程度。在这个案例中，准确性通过单样本T检验来评估，结果显示偏差值的均值（X=0.94μ）与0没有显著差异，这意味着测量系统的平均测量值与真实值非常接近。12

• GR&R要求：GR&R（Gauge Repeatability and Reproducibility）是评估测量系统重复性和再现性的方法。在这个案例中，X=0.94μ这个结果与公差限范围±50μ相比，小于10%，满足GR&R要求。这意味着测量系统的准确性在可接受的范围内，不会对产品质量造成显著影响。34

🔍 测量系统的精确性与稳定性

• 精确性分析：精确性是指在相同条件下，多次测量结果的一致性。在这个案例中，标准差S=1.42μ表明测量结果的变异性较小，精确性较高。56

• 稳定性分析：稳定性是指测量系统在长时间内保持一致的能力。在这个案例中，30天的数据点都落入控制限范围内，表明测量系统在长时间内保持了稳定的性能。78

🛠️ 测量系统的优化与维护

• 定期校准：为了确保测量系统的准确性和稳定性，应定期进行校准。在这个案例中，测厚仪在2005年2月10日曾由上级主管部门进行过校准，这有助于保持测量系统的性能。910

• 数据监控：通过持续监控测量数据，可以及时发现和纠正任何偏差。在这个案例中，每天早晨对标准片进行测量，记录偏差值，有助于及时发现和解决潜在问题。12

通过以上分析，可以确认H车间的测量系统在准确性、精确性和稳定性方面都是合格的，能够有效支持芯片镀膜厚度的质量控制。