晶向（100）的特点
- 晶向定义：晶向（100）是晶体中的一种特定方向，由晶向指数[100]确定，表示晶体沿x轴和y轴的周期相同13。
- 特性分析：晶向（100）具有较低的晶面密度，导致其热氧化和刻蚀速率相对较快，因此工艺专家对此进行了较多的研究4。
- 应用考量：在优化晶体取向时，需要平衡缺陷密度、掺杂扩散、界面特性和刻蚀特性等因素2。晶向（100）在电化学特性上表现出一个明显的峰值，与其他晶向相比，例如（111）晶向，其电流密度最高5。
晶向（100）因其特定的物理和化学特性，在半导体工艺中具有重要应用，特别是在热处理和刻蚀过程中。45
1个月前