Wafer Category 测控片 Test/Control/Dummy Wafer

Wafer Category 测控片 Test/Control/Dummy Wafer

• 一句话总结问题的答案描述：测控片包括Test Wafer、Control Wafer和Dummy Wafer，它们在半导体制造中扮演着重要角色。

Dummy Wafer

• 用途：Dummy Wafer用于工艺上的支撑或协助，帮助维持生产设备的平衡和稳定1。
• 测试与优化：在新工艺引入或现有工艺调整时，使用Dummy Wafer进行测试和优化，减少对量产片的风险2。

Test Wafer

• 完整工艺流程：Test Wafer具有完整的工艺流程，包含各种图案，用于测试和验证工艺2。
• 成本与重要性：相较于Dummy Wafer，Test Wafer成本更高，重要性也更大，但低于量产晶圆3。

Control Wafer

• 制程监控：Control Wafer用于制程监控，确保精确的工艺控制7。
• 再生晶片：通过回收加工再使用Control Wafer，可以降低Test Wafer及Dummy Wafer的成本6。

晶面与类型

• 晶面：Dummy Wafer的晶面通常为(100)5。
• 类型/掺杂：Dummy Wafer的类型为P型/硼(P/Boron)，电阻率可大于1Ω·cm或根据客户定制5。

Monitor Wafer

• 制造前调整：Monitor Wafer在正式集成电路制造前，用于各道工序中实施必要的调整8。