面形检测评价方法

面形检测评价方法在光学元件的检测中至关重要，它们帮助确定光学元件是否满足使用要求。光学元件的面形精度评价方法多样，包括传统的峰谷值、均方根值以及中心偏差等指标1。对于光学平面面形偏差的分析，可以通过斐索干涉仪采集波面干涉图，按照ASTM标准方法进行定性分析2。非球面精密检测技术，如基于干涉的方法，通过非零位与零位技术路线，可以进行原理、光路结构与检测能力的对比分析3。手机镜片非球面的面形精度评价，可以通过PV、PV20、PVq三种评价标准进行实验检讨，其中PV20和PVq对环境因素不敏感，能排除奇异点的不良影响4。数字刀口检测技术和干涉检测技术是常用的面形检测方法，而投影检测技术适用于工厂在线检测5。对于圆柱面的面形检测，三坐标测量法和计算全息图的干涉测量法是常用方法，但对超薄玻璃镜片测量时，三坐标测量法可能引入较大误差6。超高精度面形干涉检测技术，如中国科学院光电技术研究所的研究进展，以及基于计算机再现全息和照明透镜混合补偿的改良检测方法，为超大口径凸非球面的高精度检测提供了解决方案78。此外，基于微型干涉测头的标准非球面面形测量装置，为复杂曲面的高精度测量提供了新的方案9。ISO10110-5标准中的面形容差参数计算方法，通过自编波面拟合程序，可以完成多种评价参数和容差参数的计算10。