华卓精科主营产品

华卓精科的主营产品涵盖超精密测控技术领域，包括精密运动系统、光刻机双工件台、静电卡盘、晶圆级键合设备和激光退火设备等。13891523

主营产品概述

• 超精密测控设备部件：包括精密运动系统、静电卡盘和隔振器等，广泛应用于集成电路制造和超精密制造领域。2
• 光刻机双工件台：作为公司的核心战略产品，光刻机双工件台是超精密测控设备的重要组成部分。23
• 整机装备：公司还提供整机装备，如激光退火、硅片堆叠、扫描干涉光刻机等，进一步拓宽了产品线。23

产品应用领域

• 集成电路制造：公司产品在集成电路制造领域有广泛应用，体现了其在超精密测控技术方面的专业能力。2
• 超精密制造：超精密测控设备部件在超精密制造领域同样发挥着重要作用，满足高精度制造需求。2

财务与市场表现

• 营收构成：2018-2020年华卓精科的营收主要来源于超精密测控设备部件，包括技术开发服务。20
• IPO与市场表现：华卓精科曾计划在科创板公开发行新股，募资用于研发制造项目和创新中心建设，但最终终止了IPO。2122