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1.扫描电镜的二次电子像和背散射电子像各反应样品的什么信息,哪个空间分辨率更高?
4月前
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深入研究一些
扫描电子显微镜(SEM)是一种利用电子束与样品相互作用产生的信号来获取样品表面信息的仪器。在SEM中,二次电子(SE)和背散射电子(BSE)是两种重要的信号电子,它们分别反映了样品的不同特性。
二次电子成像主要利用的是被入射电子轰击出的样品外层电子,这些电子的能量较低,因此只能表征样品的表面信息。二次电子的成像具有较高的分辨率,特别适合于观察样品表面的形貌,尤其是在材料科学和生命科学等领域有着广泛的应用27。
背散射电子则是入射电子与样品相互作用后被散射回来的电子,它们的能量较高,接近入射电子的能量。背散射电子成像能够提供样品的形貌信息和成分信息,因为不同元素的原子核散射电子的能力不同,从而可以通过背散射电子的信号来区分样品中不同元素的分布14。
在空间分辨率方面,二次电子像通常具有更高的分辨率,因为二次电子主要来源于样品表面的几纳米到几微米范围内,而背散射电子则可能来源于样品的更深层次。二次电子像的分辨率高、无明显阴影效应、场深大、立体感强,特别适用于粗糙样品表面的形貌观察7。
综上所述,二次电子像主要反映样品表面的形貌信息,而背散射电子像则提供样品的形貌和成分信息。在空间分辨率上,二次电子像的分辨率更高。
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