砷烷 混配气

砷烷混配气是电子级特种气体中的一种，具有重要应用价值。

砷烷混配气的重要性

• 关键原材料：砷烷和磷烷是IC、LED、光伏、航天和国防事业的关键原材料，技术门槛和开发难度高。5

砷烷混配气的生产能力

• 产能增长：合肥正帆已具备砷烷20吨/年、磷烷30吨/年等产品的生产能力，IPO募投项目计划进一步扩产。6
• 混配工艺：气体混配工艺采用重量法、分压法、动态体积法等，对配制过程的累计误差控制、配置精度、配置过程中的杂质控制有严格要求。3

砷烷混配气的应用

• 掺杂剂：砷烷和磷烷作为掺杂气体，用于外延沉积、扩散和离子注入，其增长得益于气相外延法（VPE）和金属有机气相沉积法（MOCVD）的广泛应用。8

砷烷混配气的国产化

• 国产替代：正帆科技是国内为数不多能稳定量产电子级砷烷、磷烷的企业之一，已成功实现了国产替代。9