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KAR-211

纯真线条之王
1个月前
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理解问题KAR-211

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KAR-211是一款晶圆分拣机,具有以下特点:

  • 2~8个Load Ports,内建Load Port N2 Purge。3
  • 根据制程需求,按照Wafer ID进行排序、分批、并批或传到指定晶圆盒位置。3
  • 5轴双夹爪设计,提高分拣效率。3

该设备适用于半导体制造中的晶圆分拣任务。3

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KAR-211
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KAR-211是一款晶圆分拣机,主要用于半导体制造过程中的晶圆处理。378

设备特色

  • 多Load Ports:支持2到8个Load Ports,内建Load Port N2 Purge,确保晶圆处理过程中的清洁度。378
  • 灵活排序:根据制程Recipe需求,按照Wafer ID进行排序、分批、并批,或传到指定晶圆盒位置,提高生产效率。378
  • 5轴双夹设计:提供高效、精准的晶圆搬运和处理能力,减少操作误差。378

应用领域

  • 半导体制造:广泛应用于半导体晶圆的排序、分拣和处理,确保生产流程的顺畅和高效。378
  • 电子制造:在电子制造过程中,用于晶圆的精准搬运和处理,提高生产质量和效率。378

技术规格

  • 型号:KAR-211-CS6
  • 频率:211.24 MHz6
  • 文件页数:2页6
  • 文件大小:49 K6
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