FAB内使用的真空泵种类、工作原理、应用场景。

FAB（晶圆制造厂）内使用的真空泵种类繁多，每种泵都有其独特的工作原理和应用场景。以下是FAB内常见的几种真空泵类型及其相关信息。

气体吸附真空泵

气体吸附真空泵通过吸气或在合适温度下冷凝气体，将气体吸附到特别的活性表面上。这种泵通过蒸发和/或升华或溅射不断地产生纯净的吸气面，从而实现气体的抽取1。

容积变化泵

容积变化泵，如旋片泵和涡旋泵，通过改变泵体内空间的容积来实现气体的抽出。这类泵是应用广泛的低真空设备4。

动量传输泵

动量传输泵是另一种类型的真空泵，但具体的工作原理在提供的资料4中没有详细说明。

干式真空泵

干式真空泵在半导体各制程中是必备的通用设备，应用于单晶拉晶、Load-Lock、刻蚀、CVD、原子层沉积（ALD）、封装、测试等清洁或严苛制程5。

罗茨真空泵

罗茨真空泵是一种特殊类型的真空泵，它使用1.5 kW小体积高速永磁同步电机作为驱动电机。这种泵的设计满足了在晶圆FAB厂内的工程需求及性能要求6。

分子泵

分子泵利用分子的碰撞概率差异将气体分子抽出。其核心部件是由许多特殊形状的转子构成的转子阵列。当泵内电机驱动转子旋转时，实现气体的抽取7。

在FAB内，真空泵的应用场景包括但不限于单晶硅的生长、晶圆的蚀刻和沉积过程、以及封装和测试等环节。每种泵根据其工作原理和性能特点，被选用在适合的工艺阶段，以确保生产过程的高效和产品质量的稳定。23