芯片截止环能降低漏电嘛
理解问题芯片截止环能降低漏电嘛
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芯片截止环的设计和应用确实可以降低漏电现象。根据提供的参考资料,以下是一些关键点:
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芯片加工环境:在芯片截止环加工过程中,需要将晶圆放置在一个低压、干燥的环境中,以保护晶圆免受污染,这有助于减少漏电的产生。1
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高分辨率掩模图案:在光刻过程中,使用高分辨率的掩模图案可以避免漏电通道的形成,从而减少漏电。1
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高磷掺杂n型截止环结构:在高压肖特基二极管芯片的划片道即沟道内进行高磷掺杂,由于表面电荷产生的漏电通道仅在表面,因此可以通过这种结构减少漏电。3
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基于截止环的IGBT芯片设计:本发明提供的基于截止环的高压大功率IGBT芯片设计方法,通过在功率半导体器件的位于有源区外围的截止环上刻蚀获得至少一个沟槽,并在沟槽下方设置通过向沟槽注入杂质形成高掺杂区,可以切断IGBT芯片表面漏电沟道,减少IGBT表面漏电。5
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双层多晶硅结构:在功率半导体器件沟槽型截止环结构中,通过将截止区内的截止环设置成双层多晶硅的结构,并在第一多晶硅内部形成第二多晶层的沟槽型结构,有助于减少漏电。6
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场限环的工作原理:在平面型高压器件设计中,采用场限环来降低结结曲率效应引起表面电场的集中,提高击穿电压,从而降低漏电。12
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P型保护环:P型保护环,也称为浮空场环,不与任何电极相连,主要利用pn结在平衡态下形成的耗尽区,降低主结边缘电场,避免漏电。14
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VDMOS器件截止环结构:在VDMOS器件中,通过在芯片制造过程以及后期的芯片封装中,采用特定的截止环结构,可以减少由于表面电荷引起的漏电。10
综上所述,芯片截止环的设计和应用通过多种方式,如优化加工环境、使用高分辨率掩模、高磷掺杂、双层多晶硅结构、场限环工作原理、P型保护环以及VDMOS器件的特定结构,可以有效降低芯片的漏电现象。
高磷掺杂n型截止环结构3 | 漏电通道控制 在高压肖特基二极管芯片中,通过高磷掺杂形成n型截止环,控制漏电通道。 |
基于截止环的高压大功率IGBT芯片设计4 | 截止环设计 通过设计电网应用大功率IGBT的截止环,减少表面漏电。 |
功率半导体器件沟槽型截止环结构6 | 双层多晶硅结构 设计双层多晶硅的沟槽型截止环,用于控制漏电。 |
截止环在IGBT芯片中的应用7 | 等电位形成 截止环与多晶场板或金属场板形成等电位,切断漏电沟道,降低表面漏电。 |
新型VDMOS器件截止环结构10 | 表面电荷控制 VDMOS器件的截止环结构,用于控制芯片表面氧化物引起的表面电荷,减少漏电。 |
场限环工作原理12 | 降低电场集中 场限环用于降低结结曲率效应,减少表面电场集中,提高击穿电压,间接降低漏电。 |
IGBT芯片及其设计方法2 | 高压大功率IGBT芯片 通过截止环设计,减少表面漏电。 |
高磷掺杂n型截止环结构3 | 高压肖特基二极管芯片 高磷掺杂技术,降低漏电通道。 |
基于截止环的高压大功率IGBT芯片设计方法4 | 电网应用IGBT设计 优化截止环,减少表面漏电。 |
功率半导体器件及制造方法和截止环5 | 功率半导体器件 刻蚀沟槽和设置结构,降低漏电。 |
功率半导体器件沟槽型截止环结构6 | 双层多晶硅结构 形成沟槽型结构,减少漏电。 |
场限环12 | 平面型高压器件设计 降低表面电场集中,提高击穿电压。 |
P型保护环14 | 浮空场环 拓宽耗尽区宽度,降低主结边缘电场。 |
高磷掺杂n型截止环3 | 高压肖特基二极管芯片结构 通过高磷掺杂形成漏电通道仅在表面,有助于降低漏电。 |
基于截止环的高压大功率IGBT芯片4 | 电网应用大功率IGBT设计 通过设计方法,利用截止环减少IGBT表面漏电。 |
功率半导体器件沟槽型截止环结构6 | 双层多晶硅结构 通过设置双层多晶硅结构,形成沟槽型结构,有助于降低漏电。 |
新型VDMOS器件截止环结构10 | VDMOS芯片制造技术 通过制造工艺,减少表面电荷,降低漏电。 |
场限环12 | 平面型高压器件设计 采用场限环降低表面电场集中,提高击穿电压,间接降低漏电。 |