国产光刻机最厉害的公司是哪家

国产光刻机领域中最厉害的公司是上海微电子装备有限公司（简称上海微电子）。这家公司是中国国内唯一能制造IC前道工艺用光刻机的企业，其最为先进的产品是SSA600/200系列，能够用于90nm制程芯片的生产57。上海微电子在光刻机领域具有显著的竞争力，其IC前道光刻机水平虽然与国际巨头ASML存在差距，但已经实现90nm制程，并且在封装光刻机技术方面成为封测龙头企业的重要供应商，国内市场占有率高达80%，全球市场占有率达40%7。此外，上海微电子的LED/MEMS/功率器件光刻机性能指标领先，LED光刻机市占率第一7。随着中国在全球科技竞争中的地位不断提升，上海微电子有望在未来取得更大的突破，为中国半导体产业的发展提供有力支持46。