石英玻璃在镀膜前需要经过严格的预处理和清洗工艺以确保表面达到超高洁净度。以下是清洗工艺的要点。
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超声波清洗
- 清洗剂选择：根据1，超声清洗剂的选择对清洗效果有显著影响。
- 温度控制：清洗温度的设定对清洗效果同样重要，如2中提到的40℃超声清洗20分钟的条件。
- 时间设定：清洗时间的长短也是影响因素之一，例如20分钟的超声清洗时间2。
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有机清洗与去离子水冲洗
- 有机清洗：对于已完成镀膜工艺的片子，建议采用有机清洗方式，如丙酮和无水乙醇超声清洗各10分钟2。
- 去离子水冲洗：使用去离子水进行冲洗，确保电阻率分别达到4MΩ•cm和8MΩ•cm2。
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甩干与烘干
- 甩干：使用甩干机进行甩干，设定电阻率值12 MΩ•cm2。
- 烘干：烘干过程通常在烘箱中进行，温度和时间根据具体工艺而定，如120℃，10分钟2。
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其他清洗方法
- 机械清洗：通过物理方式去除表面杂质。
- 化学清洗：包括酸洗和碱洗，去除化学残留和污渍3。
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PVD金属镀件清洗
- 去油：使用肥皂水、金属清洗剂等进行去油处理，通过超声波清洗槽进行清洗4。
这些清洗工艺的目的是为了去除石英玻璃表面的杂质和污渍，为后续的镀膜工艺提供干净、光滑的表面3。
