氨解法制备氮化硅工艺流程

氨解法制备氮化硅工艺流程

• 原料选择：向反应容器中加入溶剂和四氯化硅14。
• 反应装置准备：控制容器中的温度和压强14。
• 反应过程控制：
  • 向溶剂中融入液氨14。
  • 减小容器中的压强，使液氨气化沸腾，扰动整个反应体系14。
  • 获得氮化硅前驱体14。
• 产物处理：将前驱体进行后续处理，如高温热解与晶化处理，得到高纯度氮化硅粉体18。

氨解法的优势与限制

• 优势：

  • 纯度高8。
  • 粒度均匀8。
  • 适合制备高α相氮化硅粉体8。

• 限制：

  • 设备与工艺过程复杂8。
  • 生产过程需要精确控制8。
  • 低成本与大规模化生产受到限制8。