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最早能生产193纳米光刻机的企业
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深入研究一些
最早生产193纳米光刻机的企业未明确指出。
早期光刻技术发展
1957年
:杰伊·拉特罗普和詹姆斯·纳尔发明缩微光刻技术。
3
1959年
:仙童半导体制造首台“步进重复”相机。
5
1974年
:中国开始研制GK-3型半自动光刻机。
8
1980年
:徐端颐团队完成国内首台自动对准分步投影光刻机。
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